10月中旬,国际市场传来了好消息。三星电子与伏羲实验室签订了合作协议,将引进3台14纳米光刻机用于其西安工厂的生产线,合同金额达3亿美元。三星的采购负责人表示:“伏羲实验室的光刻机在精度和成本上都具有明显优势,与他们合作,能帮助我们降低芯片生产成本,提升市场竞争力。”这个订单的签订,标志着国产光刻机正式进入国际主流市场。
然而,ASML并不甘心失去市场份额。10月20日,ASML宣布对14纳米光刻机进行降价促销,将原价1.2亿美元的设备降至8000万美元,同时推出“买设备送技术服务”的套餐,试图夺回被伏羲实验室抢占的市场。消息传来,渊渟资本的股价出现了小幅下跌,部分股东担心价格战会影响公司的利润。
林渊在董事会上安抚股东们的情绪:“ASML的降价只是短期行为,他们的生产成本比我们高40%,长期降价会严重影响他们的利润。我们的优势不仅在于成本,更在于技术迭代速度。我们的7纳米预研已经取得了阶段性进展,预计明年就能推出7纳米光刻机的原型机,而ASML的7纳米EUV光刻机还在解决良率问题。只要我们保持技术领先,就不怕他们的价格战。”
为了应对ASML的竞争,林渊决定推出“定制化服务”策略:根据不同客户的生产需求,为客户量身定制光刻机的配置,同时提供免费的技术培训和设备维护服务。这个策略很快见效,10月底,华虹半导体、长电科技等国内企业纷纷追加订单,新增订单量达到15台,合同金额超过12亿美元。张磊在资金汇报会上说:“截至10月底,我们的订单总量已经达到50台,合同金额超过40亿美元,足够支撑我们未来两年的研发和生产。”
11月5日,第一条量产线的试生产正式开始。当第一台量产版14纳米光刻机完成组装,经过测试各项参数均达到设计标准时,量产车间里爆发出了欢呼声。林渊走上前,抚摸着机身的“伏羲”标识,心中感慨万千。从2014年国际巨头毁约,到2015年11月第一台量产版设备诞生,短短18个月的时间,他们完成了别人需要5年甚至10年才能完成的任务。
当天下午,林渊带着第一台量产版光刻机的测试报告,来到了李教授的办公室。李教授因为身体还在恢复期,暂时负责技术文档的整理工作。当看到报告上“良率95.7%,可靠性99.9%”的字样时,李教授激动得热泪盈眶:“我们做到了!我们真的做到了!”林渊坐在李教授对面,递给他一杯热茶:“老李,这只是开始。接下来,我们要进行芯片的试生产,用我们自己的设备,生产出龙国自主研发的14纳米芯片!”
11月10日,伏羲实验室与中芯国际联合举行了“14纳米芯片试产启动仪式”。中芯国际的张总宣布,将使用伏羲实验室交付的第一台量产版光刻机,启动14纳米芯片的试生产,试产的芯片将用于华维的高端手机和服务器。华维的余承东在仪式上表示:“国产光刻机的量产,让我们彻底摆脱了对国外芯片的依赖。未来,华维的高端芯片将全部采用国产设备生产,成本降低30%的同时,还能保障供应链的安全。”
试产工作在中芯国际的无尘车间内进行。当晶圆被送入国产光刻机,经过曝光、显影、刻蚀等一系列工序后,第一片14纳米芯片的晶圆终于诞生。检测工程师将晶圆放入检测设备,当屏幕上显示“良率95.2%,性能指标达到国际先进水平”时,车间里响起了雷鸣般的掌声。余承东拿着刚封装好的芯片,激动地对林渊说:“这是龙国自主研发的14纳米芯片,它的诞生,标志着龙国半导体产业进入了新纪元!”
当晚,林渊独自一人来到“芯谷”产业园的观景台。夜色中,伏羲实验室的研发车间和中芯国际的生产车间依然灯火通明,无数个研发人员和工人还在坚守岗位。他打开系统界面,查看最新的任务进度:“‘珠峰计划’第五阶段进度90%(14纳米光刻机量产完成,芯片试产启动,良率95.2%),主线任务‘挑战硬科技之巅’进度90%,解锁新支线任务:‘芯片量产规模化’,目标:实现14纳米芯片的规模化量产,良率提升至97%以上,奖励:‘全球芯片设计资源包’,可获得国际先进的芯片设计方案和技术支持。”
林渊看着远处的灯火,心中充满了坚定。第一台国产光刻机原型机的下线,只是龙国半导体产业崛起的第一步。接下来,他们还要攻克芯片量产的良率难题,推动7纳米技术的研发,应对国际巨头的竞争和挑战。但他相信,只要所有研发人员齐心协力,坚守自主创新的道路,龙国一定能成为全球半导体产业的领导者,让“龙国芯”闪耀世界。而此刻,试产车间里的灯光,正照亮着龙国半导体产业的未来。
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