掩膜的制造生产环节是芯片整体生产流程当中的关键核心步骤之一,
掩膜表面所承载的电路图案直接决定了芯片电路的具体构造结构与核心功能用途。
掩膜的制造生产过程需要运用到电子束曝光机、激光直写机等一系列专业精密设备,
首先要将设计完成的芯片电路图案转移到掩膜之上,随后再对其进行严格细致的质量检测与缺陷修复工作,确保掩膜符合使用标准。
这一制造生产过程极为复杂繁琐,芯片研发团队也是在前几天经过赵卫国的专门指导与关键点拨之后,
才成功完成了第一张掩膜的制作工作,在这期间还经历了多次失败的尝试与探索,才最终取得成功。
掩膜之上最为核心关键的部分,是通过人工手工绘制而成的芯片电路图案——由于当前缺乏计算机辅助设计这项先进技术的支持与帮助,
所有的电路图案都必须依靠工作人员人工一笔一划地绘制完成,这无疑也大大增加了芯片研制开发工作的整体难度。
之后,他们将设计完善好的芯片电路图案转移到掩膜的光刻胶涂层表面之上,再借助化学蚀刻这种专业的技术手段,将电路图案进一步转移到掩膜的基片之上,完成掩膜的最终制作。
第一款设计完成的芯片,已经成功制作成了对应的专属掩膜,这款芯片是由赵卫国亲自担任主导者设计完成的,其尺寸规格设定为一微米。
这是一款专门应用于机床设备和汽车制造领域的芯片处理器,具备针对性的功能特点。
这款芯片后续将会进行大规模的批量生产制造,其主要用途是用于实现所有机床设备的数控化升级改造工作,提升机床设备的自动化水平与工作效率。
对于数控加工机床这类设备来说,其实际运行过程中并不要求具备超高强度的运算处理效能,
所以也就无需配备构造繁琐的核心芯片,而这款专门为其量身打造的专用芯片,
完全可以契合它在实际应用场景中的各项使用需求。
在现场每一位人员都满怀热切期盼的氛围之下,赵卫国亲身动手进行操作,正式开启了第一枚芯片的整套制作流程。
他第一步先把掩膜板准确安装到光刻机的内部腔体之中,紧接着再取出事先准备妥当的芯片基片材料。
这枚基片是经过对原始硅片开展切割、打磨等一系列加工工序制作而成的,赵卫国神情专注地将基片放进专业的清洗仪器里面,
对其表层进行全方位、无死角的清洁处理,以此来保障后续各个加工环节都能达到精准性与精度的相关要求。
在这之后,这枚已经完成清洗的基片被传送至涂胶设备当中,光刻机也随之自动开启并进入运行状态,将光刻胶均匀地涂抹并覆盖在基片的表层之上。
此次涂胶流程采用的是旋转涂布的工艺方式,通过这种工艺能够有效规避在光刻胶的型号选择以及涂布操作过程中,因人为操作失误等各类问题而对涂胶质量产生不利的影响。
从基片的清洗处理工序到光刻胶的涂覆操作环节,每一步都有对应的专属配套设备负责执行完成,
这些专业的设备均通过特定的连接方式直接与光刻机整合在一起。
没过多久,覆盖好光刻胶的基片就被送入光刻机的曝光室内部,赵卫国亲自操控光刻机的控制系统,
将激光束精准地投射到光刻胶涂层的表面,进而在基片的表层雕刻出符合设计需求的电路纹路图案以及内部构造形态。
由于这台光刻机本身仅仅装配了部分集成电板,所以赵卫国还需要进行手动调控操作,
进一步精准调节光束的聚焦效果以及投射的具体位置,确保光线能够精准无误地照射到基片的预设指定区域。
当基片完成曝光操作之后,还需要对其表层的光刻胶进行显影处理,通过这一关键环节来去除掉未被曝光的那部分光刻胶。
抵达这一决定整个制作流程成败的关键步骤时,现场的每一个人都只能静下心来耐心等候:
工作人员将基片转移到盛有显影液的容器当中,
对光刻胶进行浸泡处理,让未被曝光的部分充分溶解,从而保留住经过曝光处理后形成的图案与结构。
这一浸泡处理的过程并不会耗费太长的时间,当赵卫国从显影液中取出浸泡后的基片时,需要仔细检查并确认基片表层的图案与结构是否完整,没有出现任何缺损的情况。
此时此刻,不仅仅是赵卫国内心充满了激动的情绪,在这一关乎最终成败的关键环节,现场的每一位人员都不由自主地屏住了呼吸,生怕遗漏掉任何一个细微的细节。
只见赵卫国小心翼翼地对芯片开展清洗处理工作,清除掉残留在其表层的显影液以及其他各类污染杂质。
当然,这里所说的清洗流程绝对不是简单地用抹布进行擦拭这样粗糙的方式,而是借助专业的清洗设备来完成的精细化操作。
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