“734，汇报‘烛龙计划’进展。”李森道。
工蚁734眼中白光稳定：“管理者。‘烛龙’原型机整体完成度85%。光源系统采用我们优化后的193纳米 ArF 准分子激光源，结合浸没技术已通过测试，功率和稳定性达标。物镜系统采用非球面镜组与相移掩模技术组合，NA值1.35核心镜片研磨与镀膜完成，正在集成调试。双工件台采用磁悬浮平面电机技术定位精度达到纳米级。控制系统软件编写完成度90%。剩余工作主要为系统总装、联调、以及工艺验证。”
李森走近观察。这台“烛龙”原型机，虽然借鉴了天帝星文明中关于精密制造和光学的基础原理，但其具体技术路径和实现方式，却是在充分理解蓝星现有工业体系和技术水平的基础上，由工蚁机器人“逆向推导”和“优化设计”出来的。它使用的核心部件，如激光器、镜片材料、特种陶瓷、传感器等，部分是周明远通过特殊渠道从全球采购的高端工业品，部分则是机器人利用基地内的小型熔炉和纳米级3D打印设备，自己“手搓”出来的！其性能目标，直接对标海外最先进的DUV光刻机，最高可支持7纳米工艺！
“预计还需要多久可以完成调试，并生产出第一片合格的测试芯片？”李森问。
“全部调试完成预计需要60天。流片验证需要额外60天。如果一切顺利，120天后，可以产出基于7纳米工艺的测试芯片。”机器人精确回答。
120天！不到半年！这个速度，若是传出去，足以让全球半导体业界地震！
“很好！优先保障‘烛龙’项目资源。同时，开始规划下一代EUV光刻机的技术预研。”李森下令。他要的，不是简单的打破封锁，而是全面的领先。
“指令确认。EUV技术预研项目已启动，代号‘羲和’。目前主要攻关难点在于高功率EUV光源和反射式光学系统。”
离开B+区，李森又来到数据中心。这里堆放着数千个已经存满了技术资料的U盘。他让734将关于“烛龙”光刻机的部分“非核心”技术资料，子系统的设计思路、关键工艺的替代方案、控制软件的架构等整理出来，准备择机“泄露”给沪市的“星海精工装备研究所”和蜀府新区未来组建的光刻机研发团队。他要让明面上的团队，也能“顺理成章”地取得突破，最终实现“自主研制”的成功，从而掩盖真正实力。
两个月后，当周明远再次为光刻机愁眉不展时，李森将他叫到办公室，递给他一个硬盘。
“明远，这是我们精工所和合作院校的专家们，近期在光刻机双工件台和照明系统方面，取得的一些突破性理论成果和初步的设计方案。你组织核心专家团队进行验证和深化设计。或许，我们能走出一条不一样的路。”
周明远将信将疑地接过硬盘，回去后组织专家一看，顿时惊为天人！这些方案思路清奇，却又直指核心难点，提供了全新的解决路径！虽然距离造出整机还差得远，但无疑是黑暗中的一道曙光！
“李总……这……这是从哪里……”周明远激动地打电话问。
“集中力量办大事，这是我们自主研发的成果。”李森淡然道，“继续努力，不要声张。”
“是！是！我明白了！”周明远热血沸腾，对李森的神通广大更是佩服得五体投地。他哪里知道，这些“突破”，不过是冰山一角。
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