楚千澜指尖在桌面轻叩，眼中闪过一丝亮色。
这种光刻技术，科技图书馆里也是有的，但想要实现，其中涉及到的技术比正常光刻机还要多一些。
对于深蓝半导体来说，研发光刻机亦或者放大光刻空间，这两种方案各有利弊。
光刻机已经是成熟的技术方案，深蓝半导体只要想办法规避其中的专利，就可以造出符合使用要求的光刻机。
放大光刻空间虽然能够规避大量的核心专利，但这属于全新的研发，所有难题都要深蓝半导体的技术团队自己解决。
然而，想到女娲系统的存在，楚千澜心中也有了决定。
“放大空间规避非核心专利？这个思路倒是新颖。但光刻机的核心诉求是精度与稳定性，放大体积后，光学系统的校准、工作台的振动控制肯定会出现一系列新问题？”
张北光上前一步，打开平板，上面呈现出一个三维模型图：“楚总放心，我们做过仿真测试。将机身横向放大200%，非核心部件的加工精度要求可从±0.005微米放宽至±0.01微米，可以避开87项国外非核心专利；
光学系统方面，我们采用‘分段校准’方案，通过额外增加的激光定位模块，补偿体积放大带来的光路偏差，精度能稳定在原有水准；
工作台振动问题，恒川机械已定制出加强型阻尼基座，能将高速运转时的震颤幅度控制在0.002微米以内，完全满足45纳米光刻要求。”
王世杰在一旁补充道：“更关键的是成本优势！放宽精度要求后，国内厂商能生产的零部件比例从35%提升至92%，单台光刻机的制造成本可降低40%。
而且核心部件的专利绕开方案也有了进展，张北光团队已找到12项替代技术路径，正在进行原型测试。”
楚千澜俯身盯着模型图上的标注，指尖划过放大后的机身结构：“这个方案可行，但要把握两个关键。
第一，核心部件的专利绕开必须彻底，不能给国外厂商留下诉讼漏洞；第二，体积放大不能影响量产效率，深蓝半导体未来的产能需求只会越来越大。”
张北光立刻应声：“楚总放心，核心专利绕开我们采用‘反向设计+功能等效’双路径验证。
比如光刻胶涂布模块，我们放弃国外主流的‘旋转喷涂’专利，改用‘狭缝挤压涂布’技术，实测涂布均匀度误差仅0.003微米，完全达到要求；
量产效率方面，我们优化了晶圆传送臂的运动轨迹，虽然机身放大，但单批次晶圆处理时间仅增加0.8秒。
通过增加并行处理单元，整条产线的年产能可以稳定在33万片以上，足以支撑繁星科技和下游合作厂商的需求。
当然，这些数据都是通过女娲系统测算，与现实肯定有所差距！”
王世杰补充道：“我们还做过测算，放大版65纳米光刻机的研发周期预计12个月，只比复刻原版增加了3个月；
量产成本降低40%，这意味着后续扩产时，我们能以更低的投入快速搭建新产线，应对芯片需求的爆发式增长。”
楚千澜指尖轻叩桌面，眸色渐沉：“12个月的研发周期，时间可以接受。这套设备，你们研发的是65纳米的，还是45纳米的？”
听到询问，张北光眼中闪过一丝兴奋，“楚总，我们准备直接研发45纳米制程的光刻设备！
虽然没有拆解过45纳米光刻机，但我们在国外工作时，见过那些设备，对结构很熟悉。
再加上拆解65纳米光刻机的经验，研发一套扩展空间后的光刻设备，我们团队还是很有信心的。
只是，其中的光源设备还需要采购，这里面的专利技术太多，我们短时间无法突破限制！”
楚千澜略作沉吟，语气坚定的开口，“你们先研发光刻机主体，至于光源部分，我再想想办法。
前段时间，我看到一篇关于“激光诱导放电等离子体”的文章，感觉可以将其用来制作光刻机的光源，我最近会使用女娲系统推演一番，若是可以，你们按照我给的技术大纲研发就行了！”
此时，他已经准备从科技图书馆中拿技术了，至于使用女娲系统推演，也只是借口而已。
王世杰和张北光对视一眼，都从对方眼中看到了难以置信的惊喜。
他们虽然也能使用女娲系统，但受权限所限，根本无法做到大规模搜索资料并进行推演。
这种事情，也只有拥有女娲系统最高权限的楚千澜，才可以调用所有资源推进下去。
“楚总，您是说……您要亲自解决光源问题？”王世杰的声音都有些发颤。
光刻机的光源，是整个设备的“心脏”，技术壁垒极高，长期被少数几家国外公司垄断。
他们原本以为，就算主体设备研发成功，光源也将成为卡脖子的关键，至少需要走特殊渠道，花重金从国外采购，而且还可能面临鹰酱以及国外芯片巨头的阻挠。
楚千澜淡淡点头：“嗯，那个理论还算完善，值得一试。你们先集中精力攻克主体部分，我收集一下资料就进行推演。若是行不通，就准备从国外进口！”
他语气平静，却带着一种不容置疑的自信，让两人瞬间安心下来。
“请楚总放心！”张北光激动地挺直了腰板，仿佛浑身都充满了力量，“我们保证，12个月内，一定拿出能稳定量产的45纳米光刻设备。”
两人离开后，楚千澜独自留在办公室，他调出了“女娲系统”，开始搜集“激光诱导放电等离子体”的相关资料。
即便有整套的技术，他也要根据现有的理论资料，确定拿出的资料不会超纲太多。
就在楚千澜研究光源系统该如何绕过国外专利屏障的时候，国外与芯片相关的巨头企业代表已经齐聚一堂。
他们此时已经获得星途EDA工具与星象指令集的试用版本，正在研讨应阻击星源探索发展的方案。
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