随着显示器上的数值波动归零，赵兴夏叹了口气。
“光源还是不够，其他方面已经成熟了，唉！
基础科学，基础科学，我们的材料学没人攻克的话，光源什么时候才能有合格的。”
在他身旁有为老者拍了拍赵兴夏的肩膀。
“小赵，别灰心，夏科院那边的同志们也在努力，听说有几位老朋友立下了军令状，争取三年内就有合格光源。”
“DUV还是EUV？”
这句疑问虽然声音不大，但在这安静的实验室内却清晰可闻。
赵兴夏一脸愁容的望了过去。
只见一个陌生的年轻人站着一群人前面，面容青涩，却神态自若。
“哪里来的年轻人？”他问向身旁的助手。
作为实验室负责人，他自然不可能事事巨细。
“老赵，这位是九州科技公司的顾总，还有他们公司半导体研发部门的研发人员。”
这时候引顾青进实验室的那位高管站出来引荐道。
“这位是赵兴夏，赵教授，也是实验室负责人，项目总工程师。”
九州科技的名声，现在也不算小。
赵兴夏回过神来，略微一思索便说道：“贵司不是做晶圆制造的吗？难道有兴趣做芯片代工了？”
随即又说道：“也是，这样做成本更低，销量肯定不成问题。”
顾青笑着摇了摇头，与赵教授握手之后，看了一眼他们刚刚聚精会神观察的设备显示器。
“DUV光源是准分子激光，而AS-ML1的EUV光刻机用激光激发等离子来发射EUV光子是有原因的。
DUV光刻机的波长能达到193纳米，而EUV光源的波长则为13.5纳米。
相信赵教授您也知道，二者之间的差距十分明显，波长越短，所能实现的分辨率越高。这让EUV光刻机能够承担高精度芯片的生产任务。
所以DUV虽然能做48NM，但是难度太大了，必须换EUV才行。”
赵教授没有说话，他身侧的一位年轻研发人却是说道：“EUV光源都被国外公司包圆了，哪里有那么容易给我们EUV光源用。”
“德国莱卡的镜头、通快的光源、德美日韩的专利技术，是的确被包圆了。
可咱们又不是不可以直接从源头开始换。”顾青说道。
年轻的研发人员冷哼了一声：“说的这么简单，但是从新研发光源，没有十几年的理论推导和基础研发，哪里那么容易。”
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